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非制冷红外探测材料与器件的研究

2010年 基础理论
  • 成果简介
　　本次报奖的3个科研项目的攻关内容包括开发出Si基材料、Ⅲ-V族低维半导体材料及钛酸锶钡(BST)等热电薄膜作为非制冷红外探测器的芯片材料；研制非制冷红外探测器的工艺路线，优化器件的工艺指标；建立较为成熟的非制冷红外探测器材料及器件技术，本项目以非制冷红外探测器开发为主，研制相应的材料、器件及探测器演示样机，已达到具体指标如下：
　　(1)获得用非晶硅基材料制成的非制冷探测器芯片：非...
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